[发明专利]电容式压力传感器及其制造方法在审
| 申请号： | 201580059230.8 | 申请日： | 2015-09-02 |
| 公开（公告）号： | CN107148563A | 公开（公告）日： | 2017-09-08 |
| 发明（设计）人： | 拉斐尔·泰伊朋;本杰明·莱姆克;蒂莫·科博;拉尔斯·卡尔韦克;斯特凡·鲁姆勒-维尔纳;托马斯·齐里林格 | 申请（专利权）人： | 恩德莱斯和豪瑟尔两合公司 |
| 主分类号： | G01L9/12 | 分类号： | G01L9/12;G01L13/02;G01L19/04;G01L19/06 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司11219 | 代理人： | 穆森,戚传江 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种高精度压力传感器，其具有第一基体(1)，该第一基体(1)具有两个导电层(11、13)和绝缘层(15)，该绝缘层(15)被布置在这两个层(11、13)之间并且使所述两个层(11、13)彼此电绝缘；导电测量膜(5)，该导电测量膜(5)被布置在第一基体(1)上并且包括压力室(9)，该测量膜(5)可以载以要测量的压力(p、Δp)；和电极(17)，该电极(17)设置在面向膜的层(11)中并且与测量膜(5)间隔开，该电极(17)与测量膜(5)一起形成电容器，该电容器具有根据作用在测量膜(5)上的压力而变化的电容(C1)，该基体(1)的特征在于，其具有测量膜端子(23、23')，经由该测量膜端子(23、23')可以将参考电势(U0)施加到测量膜(5)；电极端子(25)，电极(17)的电极电势(E1)能够经由该电极端子(25)分接；以及屏蔽端子(27、27')，经由该屏蔽端子(27、27')将可以独立于参考电势(U0)预先确定的屏蔽电势(UE1)，特别地，对应于电极电势(E1)的屏蔽电势(UE1)，施加到背离膜的层(13)。 | ||
| 搜索关键词： | 电容 压力传感器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种压力传感器，包括：‑第一基体(1)，‑‑所述第一基体(1)具有两个导电层(11、13)和一个绝缘层(15)，所述绝缘层(15)被布置在所述两个层(11、13)之间并且使所述两个层(11、13)彼此电绝缘，‑导电测量膜(5)，所述导电测量膜(5)被布置在包括压力室(9)的所述第一基体(1)上，并且能够载以要测量的压力(p、Δp)，以及‑电极(17)，所述电极(17)设置在面向膜的层(11)中并且与测量膜(5)间隔开，所述电极(17)与所述测量膜(5)一起形成电容器，所述电容器具有随作用在所述测量膜(5)上的压力而变化的电容(C1)，其特征在于，所述压力传感器具有：‑测量膜端子(23、23′)，经由所述测量膜端子(23、23′)能够将参考电势(U0)施加到所述测量膜(5)，‑电极端子(25)，所述电极(17)的电极电势(E1)能够经由所述电极端子(25)分接，以及‑屏蔽端子(27、27′)，能够经由所述屏蔽端子(27、27′)将能够独立于所述参考电势(U0)预先确定的屏蔽电势(UE1)，尤其是与所述电极电势(E1)对应的屏蔽电势(UE1)，施加到背离膜的层(13)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于恩德莱斯和豪瑟尔两合公司，未经恩德莱斯和豪瑟尔两合公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201580059230.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
