[发明专利]研磨垫在审
| 申请号： | 201580045399.8 | 申请日： | 2015-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN106660190A | 公开（公告）日： | 2017-05-10 |
| 发明（设计）人： | 片山浩二;大桥圭吾;山田英一;森永均 | 申请（专利权）人： | 福吉米株式会社 |
| 主分类号： | B24B37/22 | 分类号： | B24B37/22;B24B37/26 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)11277 | 代理人： | 刘新宇,张会华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供能够去除具有曲面的被研磨物的表面的起伏的研磨垫。研磨垫(10)具有由硬质树脂层(40)形成的研磨面(30)，且具有使研磨面(30)追随于被研磨物(90)的曲面的构造(40，50)。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 | ||
【主权项】：
一种研磨垫，其特征在于，该研磨垫具有由硬质树脂层形成的研磨面，且具有使所述研磨面追随于被研磨物的曲面的构造。
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