[发明专利]超声波传感器及其制造方法

摘要

本发明涉及超声波传感器及其制造方法。该超声波传感器，其具备：具有至少一个开口部(18)的基板、以封闭上述开口部(18)的方式被设置于上述基板的振动板(50)、以沿Y方向并列的方式被设置于上述振动板(50)的与上述开口部(18)相反的一侧并向与上述Y方向正交的X方向延伸的多个第一电极(14)、以沿上述X方向并列的方式被设置于上述振动板(50)的与上述开口部(18)相反的一侧并向上述Y方向延伸的多个第二电极(16)、以及至少在上述第一电极(14)与上述第二电极(16)交叉的部分被设置于上述第一电极(14)与上述第二电极(16)之间的多个压电体层(15)，在与上述X方向以及上述Y方向正交的Z方向，将上述第一电极(14)、上述压电体层(15)以及上述第二电极(16)重合的部分作为有源部，将上述振动板(50)能够通过上述有源部的驱动进行振动的区域作为可动部，在俯视观察时，在将由一个上述可动部与被设置于上述一个可动部内的上述有源部构成的单位作为一个超声波元件时，具备在俯视观察时，相对于上述可动部的面积的上述有源部的面积不同的两种以上的超声波元件。

主权项

1.一种超声波传感器，其特征在于，具备：基板，所述基板具有至少一个开口部；振动板，所述振动板以封闭所述开口部的方式被设置于所述基板；多个第一电极，所述多个第一电极以沿Y方向并列的方式被设置于所述振动板的与所述开口部相反的一侧，并向与所述Y方向正交的X方向延伸；多个第二电极，所述多个第二电极以沿所述X方向并列的方式被设置于所述振动板的与所述开口部相反的一侧，并向所述Y方向延伸；以及多个压电体层，所述多个压电体层至少在所述第一电极与所述第二电极交叉的部分被设置于所述第一电极与所述第二电极之间，在与所述X方向以及所述Y方向正交的Z方向，将所述第一电极、所述压电体层以及所述第二电极重合的部分作为有源部，将所述振动板能够通过所述有源部的驱动进行振动的区域作为可动部，在俯视观察时，在将由一个所述可动部与被设置于所述一个可动部内的所述有源部构成的单位作为一个超声波元件时，具备在俯视观察时，相对于所述可动部的面积的所述有源部的面积不同的两种以上的超声波元件，在俯视观察时，与所述超声波元件对应的开口部的面积实质相同，与一个开口部对应的所述压电体层的面积相同，与一个开口部对应的所述第一电极以及第二电极中的任一方的面积不同，两种以上的超声波元件由接收超声波的接收专用元件和发送超声波的发送专用元件构成，所述接收专用元件的有源部的面积小于发送专用元件的有源部的面积。