[发明专利]能量敏感性树脂组合物有效
申请号: | 201580033498.4 | 申请日: | 2015-06-11 |
公开(公告)号: | CN106575080B | 公开(公告)日: | 2020-08-11 |
发明(设计)人: | 野田国宏;千坂博树;盐田大 | 申请(专利权)人: | 东京应化工业株式会社 |
主分类号: | G03F7/038 | 分类号: | G03F7/038;C08G73/22;G03F7/004;G03F7/40 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 葛凡 |
地址: | 日本神*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供:即使在低温下对聚苯并噁唑前体进行热处理的情况下,也带来拉伸伸长率之类的机械特性和耐药品性优异、着色受到抑制、透明性高的聚苯并噁唑树脂的能量敏感性树脂组合物;使用上述能量敏感性树脂组合物的聚苯并噁唑膜或聚苯并噁唑成形体的制造方法;以及使用上述能量敏感性树脂组合物的图案制造方法。本发明所涉及的能量敏感性树脂组合物含有:聚苯并噁唑前体、溶剂、以及在光和热中的至少一种的作用下分解并产生碱和酸中的至少一种的化合物(A),所述聚苯并噁唑前体是使芳香族二胺二醇与二甲酰化合物或二羧酸二卤化物反应而获得的。 | ||
搜索关键词: | 能量 敏感性 树脂 组合 | ||
【主权项】:
一种能量敏感性树脂组合物,其含有:聚苯并噁唑前体、溶剂、以及在光和热中的至少一种的作用下分解并产生碱和酸中的至少一种的化合物(A),所述聚苯并噁唑前体是使下述式(1)所示的芳香族二胺二醇与下述式(2)所示的二羰基化合物反应而获得的,式(1)中,Ra1为含有1个以上芳香环的4价的有机基团,关于式(1)所示的芳香族二胺二醇中所含的2组氨基和羟基的组合,在各组合中,氨基和羟基键合在Ra1中所含的芳香环上的相邻的2个碳原子上,式(2)中,Ra2表示2价的有机基团,A表示氢原子或卤素原子。
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