[发明专利]用于通过质谱仪进行亚微米元素图像分析的设备和方法在审
| 申请号： | 201580020875.0 | 申请日： | 2015-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN106233421A | 公开（公告）日： | 2016-12-14 |
| 发明（设计）人： | S·C·本多尔;R·M·安吉洛;G·P·诺兰 | 申请（专利权）人： | 斯坦福大学托管董事会 |
| 主分类号： | H01J49/02 | 分类号： | H01J49/02;H01J49/40 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所11038 | 代理人： | 欧阳帆 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于对平面样本进行元素分析的质谱仪系统。在一些实施方案中，所述质谱仪系统包括：原离子源，其能够利用直径小于1mm的原离子束来照射平面样本上的区段；c)正交离子质荷比分析器，其定位在样本接口下游，所述分析器被配置来通过飞行时间根据二次元素原子离子的质荷比来将所述二次元素原子离子进行分离；d)离子检测器，其用于检测所述二次元素原子离子并且产生质谱测量结果；以及e)同步器，其中所述系统被配置成使得所述原离子束跨所述平面样本进行二维扫描，并且所述同步器将所述质谱测量结果与所述平面样本上的位置相关联。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 通过 质谱仪 进行 微米 元素 图像 分析 设备 方法 | ||
【主权项】：
一种用于对平面样本进行元素分析的质谱仪系统，所述质谱仪系统包括：a)样本接口，其包括固持器，所述固持器被构造来固持包括平面样本的基底；b)原离子源，其能够利用直径小于1mm的原离子束来照射所述平面样本上的区段，其中利用所述原离子照射所述平面样本引起从与所述平面样本相关联的染色元素衍生的二次元素原子离子的产生；以及c)正交离子质荷比分析器，其定位在样本接口下游，所述分析器被配置来通过飞行时间根据二次元素原子离子的质荷比来将所述二次元素原子离子进行分离；d)主要离子检测器，其用于检测所述二次元素原子离子并且产生质谱测量结果；以及e)同步器，其将所述质谱测量结果与所述平面样本上的位置相关联，其中所述系统被配置成使得所述原离子束跨所述平面样本进行二维扫描。
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