[发明专利]硬质覆膜、切削工具以及硬质覆膜的制造方法

摘要

本发明为一种硬质覆膜，其中：所述硬质覆膜包括两个第一结晶相以及配置于所述两个第一结晶相之间的第二结晶相；所述两个第一结晶相各自独立地包括Ti_1–x1Al_x1N相和Al_x2Ti_1–x2N相交替层叠的层叠结构，其中所述Ti_1–x1Al_x1N相具有氯化钠型晶体结构并且所述Al_x2Ti_1–x2N相具有氯化钠型晶体结构；所述Ti_1–x1Al_x1N相中的Al组成比x1满足关系式0.5≤x1≤0.75；所述Al_x2Ti_1–x2N相中的Al组成比x2满足关系式0.751–x1Al_x1N相和所述Al_x2Ti_1–x2N相的层叠方向周期性地变化；在所述区域中，所述Al组成比x2的最大值与所述Al组成比x1的最小值之差大于0.25；所述第二结晶相包含具有纤锌矿型晶体结构的AlN。

主权项

1.一种硬质覆膜，包括：两个第一结晶相；以及配置于所述两个第一结晶相之间的第二结晶相，其中所述两个第一结晶相各自独立地包括Ti_1–x1Al_x1N相和Al_x2Ti_1–x2N相交替层叠的层叠结构，其中所述Ti_1–x1Al_x1N相具有氯化钠型晶体结构并且所述Al_x2Ti_1–x2N相具有氯化钠型晶体结构，所述Ti_1–x1Al_x1N相中的Al组成比x1满足关系式0.5≤x1≤0.75，所述Al_x2Ti_1–x2N相中的Al组成比x2满足关系式0.75<x2≤0.95，所述层叠结构包括这样的区域，在该区域中，Al浓度沿着所述Ti_1–x1Al_x1N相和所述Al_x2Ti_1–x2N相的层叠方向周期性地变化，在所述区域中，所述Al组成比x2的最大值与所述Al组成比x1的最小值之差大于0.25，并且所述第二结晶相包含具有纤锌矿型晶体结构的AlN。