[实用新型]一种基底交接装置有效
| 申请号： | 201521134417.3 | 申请日： | 2015-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN205507354U | 公开（公告）日： | 2016-08-24 |
| 发明（设计）人： | 刘伟;朱岳彬 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;B65G47/91 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种基底交接装置，包括直线电机组件、升降板、接板手组件及控制传感器组件，所述直线电机组件包括底座、外壳体、电机动子及电机定子，所述外壳体位于所述底座上方，所述电机动子与所述电机定子以同心圆方式设置在所述外壳体内，所述升降板安装在所述电机动子上，所述接板手组件安装在所述升降板上，所述控制传感器组件安装在所述底座上并和所述直线电机组件连接。本实用新型采用了底座与直线电机组件外壳体合并为一体式的结构，能够有效减小装置的高度尺寸，节省空间。由电机动子直接带动接板手组件的真空吸附装置吸附基底运动，提高了运动效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基底 交接 装置 | ||
【主权项】：
一种基底交接装置，其特征在于，包括直线电机组件、升降板、接板手组件及控制传感器组件，所述直线电机组件包括底座、外壳体、电机动子及电机定子，所述外壳体位于所述底座上方，所述电机动子与所述电机定子以同心圆方式设置在所述外壳体内，所述升降板安装在所述电机动子上，所述接板手组件安装在所述升降板上，所述控制传感器组件安装在所述底座上并和所述直线电机组件连接。
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