[实用新型]位置敏感探测器定位误差的标定装置有效

专利信息
申请号: 201520983319.0 申请日: 2015-12-01
公开(公告)号: CN205300497U 公开(公告)日: 2016-06-08
发明(设计)人: 王涛;赵建科;田留德;周艳;潘亮;陈琛;段亚轩;赵怀学 申请(专利权)人: 中国科学院西安光学精密机械研究所
主分类号: G01B11/00 分类号: G01B11/00
代理公司: 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 代理人: 倪金荣
地址: 710119 陕西省西*** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 实用新型提供一种位置敏感探测器定位误差的标定装置,包括电控平移台、单轴精密转台、用于给PSD发射光束的半导体激光器和用于夹持半导体激光器的激光夹持器;单轴精密转台固定于电控平移台上,单轴精密转台上放置有PSD。单轴精密转台通过螺栓与电控平移台固定。该装置可以很容易的调整PSD光敏面法线与电控位移台的移动方向垂直,避免了因坐标系旋转而引入的测试误差,提高了PSD定位误差的测试精度。
搜索关键词: 位置 敏感 探测器 定位 误差 标定 装置
【主权项】:
一种位置敏感探测器定位误差的标定装置,其特征在于:包括电控平移台、单轴精密转台、用于给PSD发射光束的半导体激光器和用于夹持半导体激光器的激光夹持器;所述单轴精密转台固定于电控平移台上,单轴精密转台上放置有PSD。
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