[实用新型]一种单晶硅棒单根开方机有效
申请号: | 201520832200.3 | 申请日: | 2015-10-26 |
公开(公告)号: | CN205043991U | 公开(公告)日: | 2016-02-24 |
发明(设计)人: | 陈新华;黄兴江;杜树林;王放;段辉科;陈波;黎顺海;温建荣;温礼涛;李文杰 | 申请(专利权)人: | 重庆四和晶工科技有限公司 |
主分类号: | B28D5/04 | 分类号: | B28D5/04 |
代理公司: | 重庆博凯知识产权代理有限公司 50212 | 代理人: | 伍伦辰 |
地址: | 400054 重庆市巴*** | 国省代码: | 重庆;85 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种单晶硅棒单根开方机,包括机座,固定设置在机座上的单晶硅棒固定机构、切割机构和放排线机构;所述切割机构包括切割机头、布置在切割机头上的多个用于张紧切割线切割段的切割轮、多个用于实现过渡或导向的过渡导向轮、至少一套用于张紧切割线的张紧装置和一根切割线,切割线绕接在过渡导向轮、张紧装置和切割轮上且两端连接回放排线机构,其特征在于,所述单晶硅棒固定机构用于固定单根硅棒,所述切割机头和进给机构相连并能够靠进给机构控制实现对硅棒的开方。本实用新型具有结构简单,切割效率高,能够实现较长单晶硅棒切割的优点,能够获得更长的开方硅棒,以提高后续切片机的切割效率,降低了硅片生产的整体成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 单晶硅 棒单根 开方 | ||
【主权项】:
一种单晶硅棒单根开方机,包括机座,固定设置在机座上的硅棒固定机构、切割机构和放排线机构;所述切割机构包括切割机头、布置在切割机头上的多个用于张紧切割线切割段的切割轮、多个用于实现过渡或导向的过渡导向轮、至少一套用于张紧切割线的张紧装置和一根切割线,切割线绕接在过渡导向轮、张紧轮和切割轮上且两端连接回放排线机构,放排线机构包括可转动地横向安装在机座上的放线卷筒和收线卷筒,切割线的两端缠绕连接在放线卷筒和收线卷筒上,放线卷筒和放线电机传动连接,收线卷筒和收线电机传动连接,其特征在于,所述硅棒固定机构包括两个固定设置在机座上的安装座,两个安装座上端水平相对延伸形成有整体呈水平圆柱形的夹持部,一个安装座上的夹持部为固定设置的固定夹持部,另一个安装座上的夹持部可水平活动设置的活动夹持部以实现夹紧,夹持部直径和待切割硅棒直径匹配,两个夹持部相对一端端部均沿相互垂直的方向设置有两对用于实现切割线走线让位的让位槽;所述切割机头竖向设置且套设在夹持部外,所述切割线在切割机头前方布置为用于切割的“井”字形,切割机头和进给机构相连并能够靠进给机构控制在两个夹持部之间来回运动。
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