[实用新型]一种扫描电镜测试平台有效
申请号: | 201520753550.0 | 申请日: | 2015-09-25 |
公开(公告)号: | CN204927233U | 公开(公告)日: | 2015-12-30 |
发明(设计)人: | 李琰琪;王栩生;邢国强 | 申请(专利权)人: | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;盐城阿特斯协鑫阳光电力科技有限公司 |
主分类号: | H01J37/28 | 分类号: | H01J37/28;H01J37/20;G01N1/28;G01N23/225 |
代理公司: | 苏州翔远专利代理事务所(普通合伙) 32251 | 代理人: | 陆金星 |
地址: | 215129 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种扫描电镜测试平台,包括样品平台,所述样品平台上层叠设有活动连接的测试辅助平台,并通过限位机构对所述测试辅助平台的位置进行限定,所述测试辅助平台上设有测试孔。本实用新型通过在样品平台上活动设置测试辅助平台,并在测试辅助平台上设置测试孔,在测试磁性样品时,不会因电镜镜头通电产生的磁场将样品吸气而损坏镜头。 | ||
搜索关键词: | 一种 扫描电镜 测试 平台 | ||
【主权项】:
一种扫描电镜测试平台,包括样品平台,其特征在于:所述样品平台上层叠设有活动连接的测试辅助平台,并通过限位机构对所述测试辅助平台的位置进行限定,所述测试辅助平台上设有测试孔。
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