[实用新型]介质板等离子体发生器有效
申请号: | 201520741989.1 | 申请日: | 2015-09-23 |
公开(公告)号: | CN205051959U | 公开(公告)日: | 2016-02-24 |
发明(设计)人: | 叶燕峰 | 申请(专利权)人: | 叶燕峰 |
主分类号: | H05H1/24 | 分类号: | H05H1/24 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 324300 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种介质板等离子体发生器,包括介质板、上介质管和下介质管,介质板为陶瓷或者石英材质结构,上介质管和下介质管为聚四氟乙烯材质结构,上介质管和下介质管均为半开口状,上介质管和下介质管相互平行分别设置在介质板的上方和下方,上介质管和下介质管内均设置有导电体,导电体的引出端之间施加高频电压。其结构简单,制作工艺难度低,耐腐蚀性好,具有更加稳定的等离子放电性能,寿命长。 | ||
搜索关键词: | 介质 等离子体 发生器 | ||
【主权项】:
介质板等离子体发生器,其特征是:包括介质板(1)、上介质管(2)和下介质管(3),介质板(1)为陶瓷或者石英材质结构,上介质管(2)和下介质管(3)为聚四氟乙烯材质结构,上介质管(2)和下介质管(3)均为半开口状,上介质管(2)和下介质管(3)相互平行分别设置在介质板(1)的上方和下方,上介质管(2)和下介质管(3)内均设置有导电体(4),导电体(4)的引出端之间施加高频电压。
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