[实用新型]一种硅片夹持机构有效
| 申请号： | 201520482194.3 | 申请日： | 2015-07-02 |
| 公开（公告）号： | CN204772060U | 公开（公告）日： | 2015-11-18 |
| 发明（设计）人： | 孙显强 | 申请（专利权）人： | 温州市赛拉弗能源有限公司 |
| 主分类号： | B24B41/06 | 分类号： | B24B41/06 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 325011 浙江省温*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种硅片夹持机构，包括旋转盘、设置在旋转盘上的若干个伸缩臂和固定在伸缩臂上的夹头，其中，所述夹头用于夹持硅片，所述夹头包括钳口，所述钳口具有一对夹持面，所述夹持面具有依次相连接的支撑棱、阻挡销和夹持块。本实用新型结构简单，夹持稳定可靠，夹持效果好、不损坏硅片，支撑棱和阻挡销使得夹持更稳定可靠。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 夹持 机构 | ||
【主权项】：
一种硅片夹持机构，包括旋转盘(2)、设置在旋转盘(2)上的若干个伸缩臂(3)和固定在伸缩臂(3)上的夹头(4)，其特征在于，所述夹头(4)用于夹持硅片(1)，所述夹头(4)包括钳口(5)，所述钳口(5)具有一对夹持面，所述夹持面具有依次相连接的支撑棱(51)、阻挡销(52)和夹持块(53)。
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