[实用新型]多晶硅还原炉有效
| 申请号： | 201520179808.0 | 申请日： | 2015-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN204529326U | 公开（公告）日： | 2015-08-05 |
| 发明（设计）人： | 姚心;汪绍芬;石涛 | 申请（专利权）人： | 中国恩菲工程技术有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/03 | 分类号： | C01B33/03 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 宋合成 |
| 地址： | 100038*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种多晶硅还原炉，包括：底盘组件，底盘组件包括：底盘本体，底盘本体内限定有从底盘本体的中心处旋向底盘本体的外周缘处的多个螺旋流道，底盘本体上设有与多个螺旋流道连通的冷却液进口和多个冷却液出口；多个电极座，多个电极座设置在底盘本体上；多个进气管和多个排气管，多个进气管和多个排气管设置在底盘本体上；炉体，炉体连接在底盘组件上；多个电极，多个电极分别设置在多个电极座上；进气系统，进气系统与多个进气管相连；排气系统，排气系统与多个排气管相连。根据本实用新型的多晶硅还原炉具有冷却液流动阻力小、冷却效果好、底盘径向温度分布均匀、底盘不易产生温差应力和变形等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 还原 | ||
【主权项】：
一种多晶硅还原炉，其特征在于，包括：底盘组件，所述底盘组件包括：底盘本体，所述底盘本体内限定有从所述底盘本体的中心处旋向所述底盘本体的外周缘处的多个螺旋流道，所述底盘本体上设有与多个所述螺旋流道连通的冷却液进口和多个冷却液出口；多个电极座，多个所述电极座设置在所述底盘本体上；多个进气管和多个排气管，多个所述进气管和多个所述排气管设置在所述底盘本体上；炉体，所述炉体连接在所述底盘组件上且与所述底盘组件限定出反应腔；多个电极，多个所述电极分别设置在多个所述电极座上且位于所述反应腔内；进气系统，所述进气系统与多个所述进气管相连；排气系统，所述排气系统与多个所述排气管相连。
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