[实用新型]多晶硅还原炉

摘要

本实用新型公开了一种多晶硅还原炉，包括：底盘本体，底盘本体内限定有冷却腔，底盘本体上设有与多个冷却腔连通的冷却液进管和多个冷却液出管；多个进气管和多个排气管，多个进气管中的一个嵌套在冷却液进管内，多个排气管分别嵌套在多个冷却液出管内；进气环管和多个进气支管，进气环管多个进气支管连接在进气环管上且分别与多个进气管连通；排气环管和多个排气支管，多个排气支管连接在排气环管上且分别与多个排气管连通；进液管和多个出液管，进液管连接在冷却液进管下方且多个进气支管中的一个嵌套在进液管内，多个出液管分别连接在多个冷却液出管下方且多个排气支管分别嵌套在多个出液管内。

主权项

一种多晶硅还原炉，其特征在于，包括：底盘本体，所述底盘本体内限定有冷却腔，所述底盘本体上设有与多个所述冷却腔连通的冷却液进管和多个冷却液出管；多个进气管和多个排气管，多个所述进气管和多个所述排气管设置在所述底盘本体上，多个所述进气管中的一个嵌套在所述冷却液进管内，多个所述排气管分别嵌套在多个所述冷却液出管内；进气环管和多个进气支管，所述进气环管上设有进气口且设置在所述底盘本体下方，多个所述进气支管连接在所述进气环管上且分别与多个所述进气管连通；排气环管和多个排气支管，所述排气环管上设有排气口且设置在所述底盘本体下方，多个所述排气支管连接在所述排气环管上且分别与多个所述排气管连通；进液管和多个出液管，所述进液管连接在所述冷却液进管下方且多个所述进气支管中的一个嵌套在所述进液管内，多个所述出液管分别连接在多个所述冷却液出管下方且多个所述排气支管分别嵌套在多个所述出液管内。