[实用新型]用于反应腔室的密封装置

摘要

本实用新型公开了一种用于反应腔室的密封装置，通过在反应腔室门孔与反应腔室门对应位置之间设置相配合的第一、第二磁铁，并采用弹簧将第二磁铁与反应腔室门连接，利用磁铁之间异极性相吸的原理和弹簧的拉力，来实现对反应腔室门孔的密封和开启，可在机械手退出反应腔室后，及时对反应腔室进行可靠地密封，具有结构简单、易实现的显著特点，可广泛应用于半导体清洗、氧化炉等设备的密封。

主权项

一种用于反应腔室的密封装置，其特征在于，包括：隔板，设于反应腔室与机械手运动区域之间，用于将反应腔室与其他区域隔离；所述隔板设有门孔，用于机械手向反应腔室传取晶片；反应腔室门，移动设于所述隔板外侧，并连接驱动机构，用于受驱动移向所述门孔对应位置或移开；第一磁铁和第二磁铁，所述第一磁铁设于所述隔板外侧，并包围所述门孔；所述第二磁铁设于所述反应腔室门的内侧，并通过弹簧与所述反应腔室门连接；其中，在所述反应腔室门移至所述门孔对应位置时，通过在所述第一磁铁和第二磁铁之间产生相异磁极相吸，使所述第二磁铁克服所述弹簧的拉力，与所述第一磁铁相吸合，对所述门孔进行密封，并在消磁时，在所述弹簧的拉力作用下与所述第一磁铁相分离，将所述门孔打开。