[实用新型]末端块组件有效
申请号: | 201520079592.0 | 申请日: | 2015-02-04 |
公开(公告)号: | CN204614758U | 公开(公告)日: | 2015-09-02 |
发明(设计)人: | 汉斯-尤尔根·海因里希;格里特·施图德 | 申请(专利权)人: | 冯·阿登纳有限公司 |
主分类号: | H01J37/04 | 分类号: | H01J37/04 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 刘明海;杨生平 |
地址: | 德国德*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | 根据不同的实施方式,末端块组件(100)可具有:至少一个末端块(102),用于将管形电极(104)保持在真空室(106)中,其中,末端块(102)这样地被设置,即,联接到末端块(102)上的管形电极(104)可围绕旋转轴线(101a)旋转地被支承;其中,末端块(102)具有冷却剂引导部,用于为联接到末端块上的管形电极(104)提供冷却剂;其中,冷却剂引导部具有至少一个垂直于旋转轴线(101a)或与其成角度延伸的冷却剂输送部(108),用于径向地将冷却剂输送至联接到末端块(102)上的管形电极(104),且其中,冷却剂输送部(108)具有垂直于旋转轴线(101a)或与其成角度纵向延伸的导管截面(108q)。 | ||
搜索关键词: | 末端 组件 | ||
【主权项】:
一种末端块组件(100),具有:至少一个末端块(102),用于将管形电极(104)保持在真空室(106)中,其中,末端块(102)这样地被设置,即,联接到末端块(102)上的管形电极(104)可围绕旋转轴线(101a)旋转地被支承;其中,末端块(102)具有冷却剂引导部,用于为联接到末端块上的管形电极(104)提供冷却剂;其中,冷却剂引导部具有至少一个垂直于旋转轴线(101a)或与其成角度延伸的冷却剂输送部(108),用于径向地将冷却剂输送至联接到末端块(102)上的管形电极(104),其特征在于,冷却剂输送部(108)具有垂直于旋转轴线(101a)或与其成角度纵向延伸的导管截面(108q)。
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