[实用新型]一种超声波喷雾微波管式炉

摘要

本实用新型公开了一种超声波喷雾微波管式炉，属于喷雾热解法制备氧化物薄膜与粉末冶金领域。本实用新型所述超声波喷雾微波管式炉包括空气压缩泵、转子流量器、超声波喷雾器、超声波造雾振动盘、雾滴、石英玻璃导管、石英玻璃管、微波加热装置、微波发生器、石英玻璃片、辅助加热材料、保温材料、粉体缓冲沉降瓶、粉体、粉体收集瓶、第一级碱液吸收尾气装置、第二级碱液吸收尾气装置；本实用新型工艺过程操作简单，成本低廉，合理的利用物料，与传统法喷雾法在高温玻璃片寸底相比减少了物料的浪费。创造了通过超声波喷雾热解法与微波管式加热炉联合同时制备ITO薄膜与粉体的可能。

主权项

一种超声波喷雾微波管式炉，其特征在于包括：空气压缩泵（1）、转子流量器（2）、超声波喷雾器（3）、超声波造雾振动盘（4）、雾滴（5）、石英玻璃导管（6）、石英玻璃管（7）、微波加热装置（8）、微波发生器（9）、石英玻璃片（10）、辅助加热材料（11）、保温材料（12）、粉体缓冲沉降瓶（13）、粉体（14）、粉体收集瓶（15）、第一级碱液吸收尾气装置（16）、第二级碱液吸收尾气装置（17），空气压缩泵（1）通过转子流量器（2）和超声波喷雾器（3）相连通，超声波喷雾器（3）的底部设置有超声波造雾振动盘（4），超声波喷雾器（3）通过石英玻璃导管（6）与石英玻璃管（7）相连通；石英玻璃管（7）的内部设置有石英玻璃片（10），石英玻璃片（10）的后面设置有辅助加热材料（11），石英玻璃管（7）的外部设置有微波加热装置（8），微波加热装置（8）与石英玻璃管（7）之间设有保温材料（12），微波加热装置（8）上设置有微波发生器（9）；石英玻璃管（7）的另一端粉体缓冲沉降瓶（13），粉体缓冲沉降瓶（13）与粉体收集瓶（15）相连通；粉体收集瓶（15）、第一级碱液吸收尾气装置（16）与第二级碱液吸收尾气装置（17）依次相连通。