[实用新型]一种研磨液的双供应系统切换装置

摘要

本实用新型提供了一种研磨液的双供应系统切换装置，其包括控制器、第一循环控制机构、第二循环控制机构以及连通气动阀组；所述连通气动阀组包括第四气动阀和第七气动阀；所述第二气动阀的出口端与第九气动阀的出口端通过第四气动阀连通，所述第一气动阀的入口端与所述第九气动阀的出口端通过第七气动阀连通。本实用新型所述的两个循环供应系统之间通过连通气动阀组进行相互连通的设计，可以有效保障两个循环供应系统的正常运行，在其中一个循环供应系统中的输送管路出现异常的情况下，可随时启用另一个循环供应系统对其进行补给输送，以此保证两个循环供应系统均能正常提供液体。

主权项

一种研磨液的双供应系统切换装置，其特征在于：包括控制器、第一循环控制机构(1)、第二循环控制机构(2)以及连通气动阀组；所述第一循环控制机构(1)包括第一供液器(11)和第一气动阀组；所述第一供液器(11)通过循环泵形成液体循环通路，其包括第一供液器(11)的液体出口和回流口，所述第一气动阀组包括第一气动阀(V1)和第二气动阀(V2)，所述第一供液器(11)的液体出口与第二气动阀(V2)的入口端连接，该第二气动阀(V2)的出口端通过第一管道与所述第一气动阀(V1)的入口端连通且该段第一管道上开有数个第一输出口(12)，所述第一气动阀(V1)的出口端与所述第一供液器(11)的回流口连通；所述第二循环控制机构(2)包括第二供液器(21)和第二气动阀组，所述第二供液器(21)通过循环泵形成液体循环通路，其包括第二供液器(21)的液体出口和回流口，所述第二气动阀组包括串联连通的第九气动阀(V9)和第八气动阀(V8)，所述第九气动阀(V9)的入口端与所述第二供液器(21)的液体出口连通，所述第八气动阀(V8)的出口端与该第二供液器(21)的回流口连通，且第九气动阀(V9)和第八气动阀(V8)通过第二管道连通，该段第二管道上开有数个第二输出口(22)；所述连通气动阀组包括第四气动阀(V4)和第七气动阀(V7)；所述第二气动阀(V2)的出口端与第九气动阀(V9)的出口端通过第四气动阀(V4)连通，所述第一气动阀(V1)的入口端与所述第九气动阀(V9)的出口端通过第七气动阀(V7)连通；所述控制器分别与所述连通气动阀组、第一气动阀组和第二气动阀组电连接。