[发明专利]微蒸发器、振荡器集成微蒸发器结构及其频率修正方法在审
| 申请号： | 201510833446.7 | 申请日： | 2015-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN106803744A | 公开（公告）日： | 2017-06-06 |
| 发明（设计）人： | 杨恒;游卫龙;张磊;王小飞;李昕欣 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | H03B1/02 | 分类号： | H03B1/02 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种微蒸发器、振荡器集成微蒸发器结构及其频率修正方法，包括微蒸发台、锚点、支撑梁及金属电极；微蒸发台的一面为蒸发面；锚点位于微蒸发台的两侧，且与微蒸发台相隔一定的间距；支撑梁位于微蒸发台与锚点之间，一端与微蒸发台相连接，另一端与锚点相连接；支撑梁的尺寸满足如下关系式；金属电极位于锚点的第一表面。微蒸发台通过支撑梁与表面形成有金属电极的锚点相连接，通过调整设定支撑梁的尺寸，使得支撑梁的热容量小、散热少的特性，又微蒸发台及支撑梁的尺寸较小，只需在金属电极表面施加很小的功率即可以使得微蒸发台达到所需的蒸发温度，同时由于支撑梁的绝热作用，锚点处的温度升温较小，不会对器件的稳定性造成影响。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸发器 振荡器 集成 结构 及其 频率 修正 方法 | ||
【主权项】：
一种微蒸发器，其特征在于，所述微蒸发器包括：微蒸发台、锚点、支撑梁及金属电极；其中，所述微蒸发台的一面为蒸发面；所述锚点位于所述微蒸发台的两侧，且与所述微蒸发台相隔一定的间距；所述支撑梁位于所述微蒸发台与所述锚点之间，一端与所述微蒸发台相连接，另一端与所述锚点相连接；所述支撑梁的尺寸满足如下关系式：T=PL2kbh+Ta]]>其中，b、h、L分别为所述支撑梁的宽度、厚度及长度，T为工作时所述微蒸发台所需的蒸发温度，P为工作时所述金属电极上需要施加的功率，k为所述支撑梁的导热率，Ta为所述锚点处的温度；所述金属电极位于所述锚点的第一表面。
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