[发明专利]一种气体放电预电离装置

摘要

本发明公开了一种气体放电预电离装置，包括放电电极、预电离针、绝缘基板、密封圈、固定螺母、插拔结构和峰化电容。放电电极和预电离针垂直穿过绝缘基板，并通过密封圈和固定螺母紧固，确保激光气室良好的真空密封性能。预电离针沿电极长度方向均匀布放于放电阴极两侧，电极两侧面加工成尖棱状，与预电离针构成预电离间隙。预电离针与置于气室外部的峰化电容通过插拔结构相联，构成预电离充放电回路。当放电电极加载脉冲高压时预电离间隙快速击穿，形成弧光放电，辐射高强度紫外光，辐照主电极间隙中的激光气体介质，实现介质的紫外光自动预电离。由于预电离针与放电电极处于同一平面内，预电离结构不会对循环气体的流场结构造成影响任何影响，非常适合于重频气体放电激光器。

主权项

1.一种气体放电预电离装置，包括一对长条形的放电电极、若干对针尖相对的预电离针(2)、储能电容(5)、若干对峰化电容(10)和激光气室(8)；所述的放电电极和预电离针(2)设置在激光气室(8)内，所述的储能电容(5)和峰化电容(10)设置在激光气室(8)外；所述的放电电极包括沿垂向设置的上电极(1)和下电极(21)，所述激光气室(8)内的气体介质在上电极(1)和下电极(21)之间的间隙流过；所述的预电离针(2)通过插拔机构(11)与对应的峰化电容(10)相联，构成预电离充放电回路；所述的储能电容(5)通过电极引杆(6)与上电极(1)相联；所述的放电电极的横截面为纺锤形，每对预电离针(2)正对上电极纺锤形结构的两个尖端设置；所述的预电离针(2)与上电极纺锤形结构的两个尖端之间的距离为1‑5mm。