[发明专利]一种大型垂直式HVPE反应室的装配辅助装置有效
| 申请号： | 201510519116.0 | 申请日： | 2015-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN106467980B | 公开（公告）日： | 2019-01-29 |
| 发明（设计）人： | 王健辉;刘鹏;张茶根;张国义;童玉珍 | 申请（专利权）人： | 东莞市中镓半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/08 | 分类号： | C30B25/08;C30B29/40 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 523518 *** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明一种大型垂直式HVPE反应室的装配辅助装置，由顶法兰、吊装承重柱、精度调节承重板组成。所述吊装承重柱，在其两端均有可调节上下活动范围的限位移动结构，可调节大型垂直式HVPE反应室在总体装配后，其重量在承重管与外套管上的承重比例；所述精度调节承重板，可承载和精确调节部件的同心度、水平度。本发明提供的装配辅助装置，把大型垂直式HVPE反应室的装配，分为A、B两大区域独立装配后，再进行整体组装，从而有效地解决因反应室高度过高而造成的装配不便，明显提高装配精度、装配效率，并避免维修拆装时对上体的多余拆装所致的精度乃至设备稳定性的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 反应室 装配 垂直式 装配辅助装置 精度调节 承重板 承重柱 可调节 吊装 限位移动结构 设备稳定性 上下活动 维修拆装 整体组装 装配效率 承重 承重管 大区域 顶法兰 水平度 同心度 外套管 有效地 上体 拆装 承载 | ||
【主权项】：
1.一种大型垂直式HVPE反应室的装配辅助装置，其特征在于，由顶法兰(1)、吊装承重柱(2)、和精度调节承重板(3)构成框架结构；所述吊装承重柱(2)，在其两端设有可调节的限位移动结构；所述精度调节承重板(3)，为中空平板；在精度调节承重板(3)上设有通孔，所述吊装承重柱(2)可以穿过通孔并与之形成稳固连接；所述框架结构，在其内部空间，可以容纳大型垂直式HVPE反应室的上部‑即A区域，并且能承受大型垂直式HVPE反应室的上部‑即A区域的全部重量。
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