[发明专利]一种石英晶片尺寸的测量方法

摘要

本发明提供了一种石英晶片尺寸的测量方法，属于石英晶片测量技术领域。它解决了现有技术中石英晶片测量精度差的问题。石英晶片尺寸的测量涉及以下测量装置：光源、起偏器、检偏器、相机和处理器，本测量方法包括以下步骤：步骤一、调整测量装置的位置并摆放样品；步骤二，调整起偏器、检偏器以及石英晶片与起偏器、检偏器之间的角度；步骤三、拍摄图像并发送给处理器；步骤四，计算石英晶片的尺寸。该石英晶片尺寸的测量方法测量过程简单，操作方便且能够显著提高石英晶片尺寸测量的精度。

主权项

1.一种石英晶片尺寸的测量方法,所述石英晶片尺寸的测量包括以下测量装置：光源(1)：用于在检测过程中提供照明；相机(2)：用于采集石英晶片(3)的图像；起偏器(P1)：用于将光源(1)提供的入射光变成偏振光；检偏器(P2)：用来检验偏振光经过石英晶片(3)后的偏转；其特征在于，还包括处理器(4)：用于接收图像并进行分析处理，获得石英晶片(3)的尺寸值；所述测量方法包括如下步骤：步骤一、所述相机(2)、检偏器(P2)、起偏器(P1)和光源(1)从上到下依次设置且使四者中心处于同一直线上，并将石英晶片(3)放于起偏器(P1)和检偏器(P2)之间；步骤二、调节起偏器(P1)的角度，使起偏器(P1)的偏振方向和入射线偏振光的光矢量振动方向成一夹角α；调整检偏器(P2)的角度，使检偏器(P2)的偏振方向和入射线偏振光的光矢量振动方向成一夹角β；调整石英晶片(3)的角度，使石英晶片(3)的长边方向与起偏器(P1)的偏振方向成一夹角δ；步骤三、打开光源(1)并启动相机(2)，所述相机(2)捕捉石英晶片(3)形成图像，并将该图像发送给处理器(4)；步骤四、通过处理器(4)对步骤三中所述的图像进行分析处理，获得图像边缘轮廓，从而得到石英晶片(3)的尺寸，图像进行分析处理具体包括：A、提取图像轮廓并分割各边；B、拟合直线并获取各边轮廓的长、起始点和斜率ki，其中i表示第i边；C、提取较长线段y1＝k1*x1+b1作为参考，根据参考直线找寻与其斜率接近且长度较大的边轮廓为第二条边并设定y2＝k2*x2+b2；根据参考直线找寻第三条直线y3＝k3*x3+b3，并满足k1*k3接近‑1；同理找寻第四条直线y4＝k4*x4+b4,并满足k4*k1接近‑1；D、找到四条线拟合出四个交点a(x1,y1)、b(x2,y2)、c(x3,y3)、d(x4,y4)；E、求得石英晶片的尺寸。