[发明专利]束流调节装置

摘要

本发明属于束流调节装置技术领域，尤其涉及一种束流调节装置，包括铁芯和两个第一线圈，铁芯包括上铁芯段和下铁芯段，上铁芯段和下铁芯段的前后两端分别通过前铁芯段和后铁芯段连接，上铁芯段、下铁芯段、前铁芯段和后铁芯段之间形成贯通孔，两个第一线圈分别嵌入上铁芯段和下铁芯段，前铁芯段和后铁芯段上分别套设有一个第二线圈。相对于现有技术，本发明通过在前铁芯段和后铁芯段上分别套设一个第二线圈，通过调节这两个第二线圈的电流方向和大小，可以修正二级磁铁极头之间的鼓形磁场，使极头之间的磁场变成完全均匀的线性磁场，从而使束流通过时带状束流的截面形状始终保持直线，进而有利于束流的后期传输和控制，也有利于保证注入样品的均匀性。

主权项

束流调节装置，其特征在于：包括铁芯和两个第一线圈，所述铁芯包括上铁芯段和下铁芯段，所述上铁芯段和所述下铁芯段的前后两端分别通过前铁芯段和后铁芯段连接，所述上铁芯段、所述下铁芯段、所述前铁芯段和所述后铁芯段之间形成贯通孔，两个所述第一线圈分别嵌入所述上铁芯段和所述下铁芯段，其特征在于：所述前铁芯段和所述后铁芯段上分别套设有一个第二线圈；两个所述第二线圈用于修正贯通孔内的鼓形磁场，使得该鼓形磁场变成完全均匀的线性磁场，进而使束流通过时带状束流的截面形状始终保持直线。