[发明专利]膜转移框架

摘要

一种用于将膜固定在单件式框架上的系统包括具有带大于该膜的中心开放区域的形状的框架，该框架包括在框架上延伸到该开放区域中的多个指状物和定位在该多个指状物中的每一个的末端上的倒刺，其中该倒刺固定该膜。系统还包括末端执行器，该末端执行器包括第一多个真空管线开口和第二多个真空管线开口，其中该末端执行器用该第一多个真空管线开口固定到该膜上并且用该第二多个真空管线开口固定到该框架上，其中该末端执行器用该第一多个真空管线开口拾起该膜并且将该膜压到该框架上，其中将该膜压到该框架上将该膜固定在该倒刺上。

主权项

一种用于在半导体装置制造过程中装配框架/膜总成的方法，包括：具有末端执行器的机械臂拾起并将所述框架放置到规定的位置上；所述机械臂拾起并将所述膜放置到所述框架上，其中所述框架上的微型倒刺刺穿并且固定到所述膜上，以形成所述框架/膜总成；所述机械臂拾起并将所述框架/膜总成放进清洗器，其中所述框架具有大于所述膜的中心开放区域的形状，且所述框架中在末端上带所述微型倒刺的多个指状物延伸到所述开放区域中，并且其中所述微型倒刺固定所述膜。