[发明专利]集成微电感器及其制造方法在审
| 申请号： | 201510235791.0 | 申请日： | 2015-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN106205948A | 公开（公告）日： | 2016-12-07 |
| 发明（设计）人： | 张彩玲 | 申请（专利权）人： | 张彩玲 |
| 主分类号： | H01F17/00 | 分类号： | H01F17/00;H01L27/01;H01F41/14;H01L21/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100101 北京市朝阳区科学*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及集成微电感器及其制造方法。一种集成电感器包括：半导体衬底；形成在所述半导体衬底上的绝缘层；以及形成在所述绝缘层上的电感线圈，其中，所述半导体衬底具有形成在与所述电感线圈相反的一侧的凹陷部，所述凹陷部中填充有磁材料。 | ||
| 搜索关键词： | 集成 电感器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种集成电感器，包括：半导体衬底；形成在所述半导体衬底上的绝缘层；以及形成在所述绝缘层上的电感线圈，其中，所述半导体衬底具有形成在与所述电感线圈相反的一侧的凹陷部，所述凹陷部中填充有磁材料。
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