[发明专利]高能量离子注入装置、射束平行化器及射束平行化方法

摘要

本发明提供高能量离子注入装置、射束平行化器及射束平行化方法，适于高能量离子注入装置。射束平行化器(300)具备多个透镜部(310、312)，沿着基准轨道排列，以在射束平行化器的出口生成相对于基准轨道被平行化的射束。多个透镜部分别构成为，形成弓形弯曲间隙，并且通过施加于弓形弯曲间隙的电场来改变射束行进方向相对于基准轨道所成的角度。空间部(322、324)设置于多个透镜部中的一个透镜部和与该透镜部相邻的透镜部之间。空间部朝向被平行化的射束的与基准轨道垂直的剖面的短边方向。包括基准轨道在内的内侧区域通过空间部与多个透镜部的外侧区域连接。

主权项

一种射束平行化器，是离子注入装置的射束平行化器，其特征在于，具备：多个加速或减速透镜部，沿着基准轨道排列，以在所述射束平行化器的出口生成相对于所述基准轨道被平行化的射束；及真空容器，包围所述多个透镜部，所述多个透镜部分别构成为，形成由至少2个电极构成的弓形弯曲间隙，并且通过施加于所述弓形弯曲间隙的电场来改变射束行进方向相对于所述基准轨道所成的角度，将所述多个透镜部中的一个透镜部的一个电极和与该透镜部相邻的透镜部的另一个电极构成为同电位，并且空间部设置于所述多个透镜部中的一个透镜部和与该透镜部相邻的透镜部之间，所述空间部朝向与所述基准轨道上的射束平行化平面垂直交叉的方向，包括所述基准轨道在内的内侧区域通过所述空间部与成为所述真空容器与所述多个透镜部之间的外侧区域连通，所述多个透镜部分别具备1对电极部件，所述1对电极部件分别具备决定所述弓形弯曲间隙的弯曲面，各电极部件在所述弯曲面的相反一侧具备从靠近所述基准轨道的电极中央部向两侧延伸至射束传输空间的外缘的背面，所述空间部形成于靠近所述相邻的透镜部的所述一个透镜部的电极部件的背面与靠近所述一个透镜部的所述相邻的透镜部的电极部件的背面之间。