[发明专利]利用编程操纵器的表面层剥离

摘要

提供了一种方法和设备，用于在表面层剥离中使用以进行样品工件的错误隔离和缺陷局部化。更具体地，提供了一种方法和设备，用于以快速、受控和准确的方式从样品机械地剥除一个或多个层。可编程致动器包括具有切割边缘的层剥离探针尖端，该切割边缘被定形为快速和准确地从样品剥除材料层。层剥离探针尖端的切割面被配置使得每个剥除步骤剥除具有线性尺度的材料区域，该线性尺度基本上等于层剥离探针尖端切割面的线性尺度。表面层剥离可以在真空腔室内部发生以使得样品的目标区域可以在原位利用FIB/SEM成像来观测。

主权项

1.一种设备，用于在原位层剥离样品以用于错误隔离和缺陷局部化，所述设备包括：光学器件，用于产生沿光轴的射束；真空腔室；运动载台，与真空腔室定位在一起，用于支撑用于表面层剥离的样品，运动载台能够相对于光轴移动；以及致动器，具有与其连接的层剥离探针，层剥离探针包括具有线性切割边缘的层剥离探针尖端，所述致动器被配置成使得所述层剥离探针尖端在与所述线性切割边缘垂直的方向上的移动从样品剥除材料层，被剥除的材料层具有与所述线性切割边缘的宽度基本相等的宽度。