[发明专利]在氧化锌表面形成并调控肖特基接触的方法

摘要

本发明公开了一种在氧化锌表面形成并调控肖特基接触的方法。本发明主要包括以下步骤：1)将清洗干净的氧化锌样品置于等离子处理腔体中，并且抽腔体内空气至高真空；2)通入氧气，调节腔体压强至指定压强；3)开启射频电源，以一定功率起辉腔体内部的氧气；4)待处理时间足够时，取出样品，并蒸镀镍金电极，即可获得肖特基接触电极。该方法可操作性强，稳定可靠，并开创了氧化锌表面处理的新方法，解决了在氧化锌上制备肖特基接触的难题，并且通过调节处理强度可以调控其接触的性能。该方法新颖可靠，且耗时非常短，易于操作，适用于规模化的半导体产业应用。

主权项

一种在氧化锌表面形成并调控肖特基接触的方法，其特征在于包括以下步骤：1)将清洗干净的氧化锌样品至于等离子处理腔体中，关闭腔体，通过真空泵抽取腔体内气体，至腔体达到高真空；2)将氧气通入腔体中，调节腔体内部氧气压强到指定值；3)调节压强完毕后，打开等离子体射频电源，起辉腔体内部的氧气，并调节射频功率至指定值，维持1‑15min；4)处理1‑10min后取出氧化锌样品，在其表面做掩膜，并蒸镀镍金电极，最终在氧化锌表面获得肖特基接触的电极。