[发明专利]一种探测基板及其制备方法、探测器在审
申请号: | 201510014946.8 | 申请日: | 2015-01-12 |
公开(公告)号: | CN104681655A | 公开(公告)日: | 2015-06-03 |
发明(设计)人: | 赵磊 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | H01L31/105 | 分类号: | H01L31/105 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人: | 彭瑞欣;陈源 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明提供一种探测基板及其制备方法、探测器,所述探测基板包括衬底基板、薄膜晶体管、PIN光电二极管和闪烁层,所述薄膜晶体管和所述PIN光电二极管设置在所述衬底基板的第一面,所述闪烁层设置在所述衬底基板的第二面。X射线通过透过率较高的衬底基板后直接照射到所述PIN光电二极管,避免照射到所述PIN光电二极管的光照强度减弱,从而提高所述探测基板对光线的利用效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 探测 及其 制备 方法 探测器 | ||
【主权项】:
一种探测基板,其特征在于,包括衬底基板、薄膜晶体管、PIN光电二极管和闪烁层,所述薄膜晶体管包括栅极、有源层、源极和漏极,所述薄膜晶体管和所述PIN光电二极管设置在所述衬底基板的第一面,所述闪烁层设置在所述衬底基板的第二面。
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H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
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