[发明专利]一种探测基板及其制备方法、探测器在审

专利信息
申请号: 201510014946.8 申请日: 2015-01-12
公开(公告)号: CN104681655A 公开(公告)日: 2015-06-03
发明(设计)人: 赵磊 申请(专利权)人: 京东方科技集团股份有限公司
主分类号: H01L31/105 分类号: H01L31/105
代理公司: 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 代理人: 彭瑞欣;陈源
地址: 100015 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明提供一种探测基板及其制备方法、探测器,所述探测基板包括衬底基板、薄膜晶体管、PIN光电二极管和闪烁层,所述薄膜晶体管和所述PIN光电二极管设置在所述衬底基板的第一面,所述闪烁层设置在所述衬底基板的第二面。X射线通过透过率较高的衬底基板后直接照射到所述PIN光电二极管,避免照射到所述PIN光电二极管的光照强度减弱,从而提高所述探测基板对光线的利用效率。
搜索关键词: 一种 探测 及其 制备 方法 探测器
【主权项】:
一种探测基板,其特征在于,包括衬底基板、薄膜晶体管、PIN光电二极管和闪烁层,所述薄膜晶体管包括栅极、有源层、源极和漏极,所述薄膜晶体管和所述PIN光电二极管设置在所述衬底基板的第一面,所述闪烁层设置在所述衬底基板的第二面。
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