[发明专利]良品率估计和控制有效
| 申请号： | 201480068175.4 | 申请日： | 2014-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN105849643B | 公开（公告）日： | 2019-07-19 |
| 发明（设计）人： | S·A·米德莱布鲁克斯;W·M·J·M·考恩;F·A·J·M·朱埃森;A·C·M·库普曼;M·G·M·M·范卡拉埃吉 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 吴敬莲 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 一种计算机执行的、用于器件制造过程的缺陷预测方法，所述器件制造过程涉及由光刻设备处理的生产衬底，所述方法包括：使用训练组来训练分类模型，所述训练组包括与由所述器件制造过程所处理的生产衬底相关联的过程参数的测量值或确定值以及关于与在所述处理参数的值下在所述器件制造过程中所处理的生产衬底相关联的缺陷的存在的指示；和从分类模型产生输出，其指示对于衬底的缺陷的预测。 | ||
| 搜索关键词： | 良品率 估计 控制 | ||
【主权项】：
1.一种由计算机执行的、用于器件制造过程的缺陷预测方法，所述器件制造过程涉及由光刻设备处理的生产衬底，所述方法包括：使用训练组来训练分类模型，所述训练组包括与由所述器件制造过程所处理的生产衬底相关联的过程参数的测量值或确定值以及关于与在所述过程参数的测量值或确定值下在所述器件制造过程中所处理的生产衬底相关联的缺陷的存在的指示；和从分类模型产生输出，所述输出指示对于衬底的缺陷的预测，其中所述方法还包括基于与由所述器件制造过程所处理的另外的生产衬底相关联的过程参数的另外的测量值或确定值来反复地进行所述训练步骤。
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