[发明专利]耐热性树脂膜及其制造方法、加热炉及图像显示装置的制造方法有效
申请号: | 201480053341.3 | 申请日: | 2014-09-22 |
公开(公告)号: | CN105579500B | 公开(公告)日: | 2018-12-07 |
发明(设计)人: | 宫崎大地;富川真佐夫 | 申请(专利权)人: | 东丽株式会社 |
主分类号: | C08J5/18 | 分类号: | C08J5/18;C08G73/10;C08L79/08;H01L21/027 |
代理公司: | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人: | 杨宏军;马妮楠 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明涉及一种耐热性树脂膜,其在氦气流下于450℃加热30分钟期间产生的排出气为0.01~4μg/cm2。本发明还涉及一种耐热性树脂膜的制造方法,所述制造方法包括:在支承体上涂布含有耐热性树脂的前体的溶液的工序;和通过多个阶段进行加热的工序,所述制造方法的特征在于,所述通过多个阶段进行加热的工序至少依次包括:(A)第1加热工序,在氧浓度为10体积%以上的气氛下,以高于200℃的温度进行加热;(B)第2加热工序,在氧浓度为3体积%以下的气氛下,以比第1加热工序高的温度进行加热。 | ||
搜索关键词: | 耐热性 树脂 及其 制造 方法 加热炉 图像 显示装置 | ||
【主权项】:
1.一种耐热性树脂膜,其在氦气流下于450℃加热30分钟期间产生的排出气为0.01~4μg/cm2,所述耐热性树脂膜是利用包括通过多个阶段进行加热的工序的制造方法而得到的,所述通过多个阶段进行加热的工序至少依次包括:(A)第1加热工序,在氧浓度为10体积%以上的气氛下,以高于200℃的温度进行加热;和,(B)第2加热工序,在氧浓度为3体积%以下的气氛下,以比第1加热工序高的温度进行加热。
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