[发明专利]用于改进的电接触的透明导电氧化物(TCO)薄膜的预处理有效
| 申请号： | 201480033512.6 | 申请日： | 2014-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN105324707B | 公开（公告）日： | 2020-06-12 |
| 发明（设计）人： | 托德·马丁;阿比什克·阿南特·迪克西特;费边·斯特朗;安舒·A·普拉丹 | 申请（专利权）人： | 唯景公司 |
| 主分类号： | G02F1/155 | 分类号： | G02F1/155;G02F1/1523;G02F1/153 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 章蕾 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 某些实施方案涉及光学器件和制造光学器件的方法，所述方法预处理子层以实现所述预处理的子层和覆盖层的选择性移除。其他实施方案属于制造光学器件的方法，所述方法施加牺牲材料层。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 改进 接触 透明 导电 氧化物 tco 薄膜 预处理 | ||
【主权项】：
一种制造光学器件的方法，所述方法按以下顺序包括：(a)将所述光学器件的子层暴露于能量源；(b)在所述子层上沉积所述光学器件的一个或多个材料层；以及(c)利用激光来烧蚀所述一个或多个材料层和所述子层以暴露下面的层。
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