[发明专利]波导谐振器构件及其制造方法有效
| 申请号： | 201480015934.0 | 申请日： | 2014-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN105051580B | 公开（公告）日： | 2018-11-20 |
| 发明（设计）人： | 斯特凡·伯特纳;奥利弗·G·施密特 | 申请（专利权）人： | 德累斯顿协会莱布尼茨固体材料研究所 |
| 主分类号： | G02B6/10 | 分类号： | G02B6/10;G02B6/12;G02B6/13 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 杨靖;车文 |
| 地址： | 德国德*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明与电子技术/电子器件的领域相关，并且涉及一种波导谐振器构件，其例如可以使用在集成电路中。本发明的任务在于简单且廉价地制造出波导谐振器构件。该任务通过如下波导谐振器构件来解决，在该波导谐振器构件中存在有具有两个波导(3)的基底(1)和作为谐振器的微管(2)，其中，谐振器在波导的区域中分别具有留空部(4)以形成波导与谐振器之间的间隙。此外，该任务还通过如下方法来解决，在该方法中，在具有两个波导的基底上施加牺牲层，并且在牺牲层上施加至少一个第二层，在此之后，至少部分地去除牺牲层，并且通过卷起至少第二层制造出微管形式的谐振器。 | ||
| 搜索关键词： | 波导 谐振器 构件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种波导谐振器构件，其中，至少一个基底具有至少两个波导，或者至少两个基底分别具有至少一个波导，并且至少一个微管作为谐振器存在，所述至少一个微管具有直接或经由一个或多个层与一个或多个基底部分材料锁合的接触，其中，通过在所述谐振器中以及在所述谐振器周围的介质和/或材料和/或尺寸确定谐振器在激励下的谐振频率，并且其中，所述谐振器至少在所述波导的区域内分别具有留空部以形成波导与谐振器之间的间隙，经由所述间隙实现了所述波导与所述谐振器之间的光耦合。
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