[发明专利]用于空间分离原子层沉积的设备及制程密闭度

摘要

提供的是包括气体分配板的原子层沉积设备和方法，气体分配板包括多个细长的气口，气口具有沿着气体分配板的外部长度延伸的气帘。还提供的是包括气体分配板的原子层沉积设备和方法，气体分配板具有多个细长的气口，气口具有气帘。

主权项

一种气体分配板，包括：具有长度、宽度、左侧、右侧和正面的主体；在所述主体的所述正面处有开口的多个细长的气口，所述细长的气口沿着所述主体的所述宽度延伸；左气帘通道，所述左气帘通道邻接所述主体的所述左侧并沿所述主体的所述长度延伸，并局限所述多个细长的气口中的至少一些；及右气帘通道，所述右气帘通道邻接所述主体的所述右侧并沿所述主体的所述长度延伸，并局限所述多个细长的气口中的至少一些。