[实用新型]双振镜多幅面切换激光刻蚀机

摘要

本实用新型提供一种双振镜多幅面切换激光刻蚀机，包括机架、控制系统、计算机系统、激光发生器、吸附平台、二维振镜头、两个交叉的直线运动平台、升降台和F-θ透镜组；控制系统、计算机系统和激光发生器安装在机架上，升降台、激光发生器的激光头、二维振镜头和F-θ透镜组安装在吸附平台上方，F-θ透镜组安装在二维振镜头下部，激光发生器、二维振镜头和F-θ透镜组各有两件，两件激光发生器的激光头、二维振镜头和F-θ透镜组组合后并排安装，其特征在于：在一件激光发生器的激光头、二维振镜头和F-θ透镜组下方安装直线导轨。该实用新型专利能实现一台激光刻蚀设备对不同线宽及幅面的产品的生产要求，设备适应性好，利用率高，生产成本低。

主权项

双振镜多幅面切换激光刻蚀机，包括机架、控制系统、计算机系统、激光发生器、吸附平台、二维振镜头、两个交叉的直线运动平台、升降台和F‑θ透镜组；控制系统、计算机系统和激光发生器安装在机架上，升降台、激光发生器的激光头、二维振镜头和F‑θ透镜组安装在吸附平台上方，激光发生器的激光头的激光出光孔与二维振镜头的激光进光孔同心，F‑θ透镜组安装在二维振镜头下部，激光发生器的激光头、二维振镜头和F‑θ透镜组安装在升降台上，两个交叉的直线运动平台运动方向相互垂直，激光发生器、二维振镜头和F‑θ透镜组各有两件，两件激光发生器的激光头、二维振镜头和F‑θ透镜组组合后并排安装，其特征在于：在一件激光发生器的激光头、二维振镜头和F‑θ透镜组下方安装直线导轨。