[实用新型]高精密度Z轴正向放大一维精密定位平台

摘要

本实用新型公开了一种高精密度Z轴正向放大一维精密定位平台，其包括：基座、放大机构、运动平台、压电陶瓷、预紧机构；放大机构包括：柔性臂、第一连接部、第二连接部以及两端的固定部；运动平台一侧与所述第一连接部相抵靠，另一侧形成平台承载面；压电陶瓷设置于第一连接部和第二连接部之间，压电陶瓷一端与预紧机构相抵靠，另一端与固定部向抵靠；预紧机构设置于一端的固定部中，预紧机构包括预紧螺母和钢珠，钢珠与压电陶瓷相抵靠，预紧螺母通过钢珠为压电陶瓷提供预紧力。本实用新型的高精密度Z轴正向放大一维精密定位平台具有行程范围大、高精度、结构简单、体积小、刚度大、灵敏度高、极高分辨率、纳米级、适宜作微动平台等优点。

主权项

一种高精密度Z轴正向放大一维精密定位平台，其特征在于，所述高精密度Z轴正向放大一维精密定位平台包括：基座、放大机构、运动平台、压电陶瓷、预紧机构；所述放大机构位于所述基座限定的空间中，所述放大机构与所述基座固定连接，所述放大机构包括：柔性臂、第一连接部、第二连接部以及两端的固定部，所述柔性臂为四个，所述其中两个柔性臂对称分布于所述第一连接部的两侧，所述第一连接部通过其两侧的柔性臂与所述两端的固定部进行固定连接；所述另两个柔性臂对称分布于所述第二连接部的两侧，所述第二连接部通过其两侧的柔性臂与所述两端的固定部进行固定连接，所述柔性臂与所述第一连接部、第二连接部以及两端的固定部之间的连接点为柔性铰链点；所述运动平台一侧与所述第一连接部相抵靠，另一侧形成平台承载面；所述压电陶瓷设置于所述第一连接部和第二连接部之间，所述压电陶瓷一端与所述预紧机构相抵靠，另一端与所述固定部向抵靠；所述预紧机构设置于所述一端的固定部中，所述预紧机构包括预紧螺母和钢珠，所述钢珠与所述压电陶瓷相抵靠，所述预紧螺母通过所述钢珠为所述压电陶瓷提供预紧力。