[实用新型]高精密度Z轴正向放大一维精密定位平台

权利要求书

1.一种高精密度Z轴正向放大一维精密定位平台，其特征在于，所述高精密度Z轴正向放大一维精密定位平台包括：基座、放大机构、运动平台、压电陶瓷、预紧机构；

所述放大机构位于所述基座限定的空间中，所述放大机构与所述基座固定连接，所述放大机构包括：柔性臂、第一连接部、第二连接部以及两端的固定部，所述柔性臂为四个，所述其中两个柔性臂对称分布于所述第一连接部的两侧，所述第一连接部通过其两侧的柔性臂与所述两端的固定部进行固定连接；

所述另两个柔性臂对称分布于所述第二连接部的两侧，所述第二连接部通过其两侧的柔性臂与所述两端的固定部进行固定连接，所述柔性臂与所述第一连接部、第二连接部以及两端的固定部之间的连接点为柔性铰链点；

所述运动平台一侧与所述第一连接部相抵靠，另一侧形成平台承载面；

所述压电陶瓷设置于所述第一连接部和第二连接部之间，所述压电陶瓷一端与所述预紧机构相抵靠，另一端与所述固定部向抵靠；

所述预紧机构设置于所述一端的固定部中，所述预紧机构包括预紧螺母和钢珠，所述钢珠与所述压电陶瓷相抵靠，所述预紧螺母通过所述钢珠为所述压电陶瓷提供预紧力。

2.根据权利要求1所述的高精密度Z轴正向放大一维精密定位平台，其特征在于，所述基座上开设有螺纹孔，所述放大机构通过所述螺纹孔与所述基座固定连接。

3.根据权利要求1所述的高精密度Z轴正向放大一维精密定位平台，其特征在于，所述放大机构通过所述第二连接部与所述基座固定连接。

4.根据权利要求1所述的高精密度Z轴正向放大一维精密定位平台，其特征在于，所述第一连接部两侧的柔性臂与所述第二连接部两侧的柔性臂对称设置，所述柔性臂的各个柔性铰链点对称分布。

5.根据权利要求1所述的高精密度Z轴正向放大一维精密定位平台，其特征在于，所述高精密度Z轴正向放大一维精密定位平台还包括保护套，所述保护套上开设有用以引出压电陶瓷屏蔽线的通孔。

6.根据权利要求1所述的高精密度Z轴正向放大一维精密定位平台，其特征在于，所述放大机构通过线切割工艺一体成型而成。

7.根据权利要求1所述的高精密度Z轴正向放大一维精密定位平台，其特征在于，所述放大机构与所述基座的材质相同，所述二者的材质为轻密度金属。

8.根据权利要求1所述的高精密度Z轴正向放大一维精密定位平台，其特征在于，所述预紧螺母的材质为重密度金属。

9.根据权利要求1所述的高精密度Z轴正向放大一维精密定位平台，其特征在于，所述压电陶瓷为PZT5型硬压电陶瓷。

10.根据权利要求1所述的高精密度Z轴正向放大一维精密定位平台，其特征在于，所述预紧螺母包括第一螺母和第二螺母，所述第二螺母设置于上述第一螺母和钢珠之间，所述钢珠与所述第二螺母相配合。