[实用新型]一种单晶硅炉有效
申请号: | 201420780584.4 | 申请日: | 2014-12-12 |
公开(公告)号: | CN204311155U | 公开(公告)日: | 2015-05-06 |
发明(设计)人: | 张忠安 | 申请(专利权)人: | 江西豪安能源科技有限公司 |
主分类号: | C30B29/06 | 分类号: | C30B29/06;C30B35/00 |
代理公司: | 贵阳天圣知识产权代理有限公司 52107 | 代理人: | 杜胜雄 |
地址: | 330000 江*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | 本实用新型公开一种单晶硅炉,包括:炉体外壳,其上设置出气孔,所述炉体外壳的底部设置一排料口,所述排料口上连接一清洗管道,所述清洗管道的另一端连接一抽吸装置;炉体副腔室,其设置在所述炉体外壳的上部;升降装置,其设置在所述炉体副腔室的上部,所述升降装置包括丝杆、滑动机构以及连接在所述丝杆上的电机,所述滑动机构上连接一钢丝绳,所述钢丝绳垂直穿过所述炉体副腔室,并伸入至所述炉体外壳内,所述钢丝绳伸入至炉体外壳内的一端连接一重锤;支架,其设置在所述炉体外壳的下部。本实用新型所述单晶硅炉提高了硅籽晶生产设备的稳定性,清洗设备更方便,保持了炉内的环境清洁度,提高了产品质量。 | ||
搜索关键词: | 一种 单晶硅 | ||
【主权项】:
一种单晶硅炉,其特征在于,包括:炉体外壳,其上设置出气孔,所述炉体外壳的底部设置一排料口,所述排料口上连接一清洗管道,所述清洗管道的另一端连接一抽吸装置;炉体副腔室,其设置在所述炉体外壳的上部;升降装置,其设置在所述炉体副腔室的上部,所述升降装置包括丝杆、滑动机构以及连接在所述丝杆上的电机,所述滑动机构上连接一钢丝绳,所述钢丝绳垂直穿过所述炉体副腔室,并伸入至所述炉体外壳内,所述钢丝绳伸入至炉体外壳内的一端连接一重锤;支架,其设置在所述炉体外壳的下部。
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