[实用新型]用于碲镉汞气相外延生长的多功能石墨舟

摘要

本专利公开了一种用于碲镉汞气相外延生长的多功能石磨舟，该石墨舟由石墨底座、石墨盖板、石墨掩片、石墨垫片四本部分组成，石墨掩片和石墨垫片可分别放入石墨底座内，石墨盖板置于石墨掩片和石墨垫片上部，对石墨底座进行密封。该石墨舟可以用于碲镉汞气相外延生长，可以实现多片(衬底尺寸可以控制在10mm*10mm～30mm*30mm)、异型形貌(如长方形、圆形、三角形、环形等)、异型尺寸(各种不规则尺寸衬底)的碲镉汞气相外延生长。为碲镉汞选择区域生长奠定了基础，该方法可以应用于短波、中波和长波碲镉汞等温气相外延领域。

主权项

一种用于碲镉汞气相外延生长的多功能石墨舟，该石墨舟由石墨底座(1)、石墨盖板(2)、石墨掩片(3)、石墨垫片(4)组成，其特征在于：所述的石墨底座(1)是一个放置多片衬底的石墨舟，尺寸可以根据衬底(6)大小进行设计，对石墨底座(1)的四个角进行有弧度倒角处理，方便取放衬底(6)；所述的石墨掩片(3)是一个厚度为1mm正方形薄片，与石墨底座(1)放置衬底的大小相匹配，石墨掩片(3)内部开不同形状的孔，有圆形、三角形或正方形来实现不同形状的异型外延薄膜生长；所述的石墨垫片(4)是一个厚度为1mm正方形薄片，与石墨底座(1)放置衬底(6)的大小相匹配，石墨垫片(4)内部开有不同形状的浅槽，浅槽厚度为0.5mm，各种异型衬底(6)置于石墨垫片(4)上相应形状的浅槽上；所述的石墨底座(1)下部安放碲镉汞源(5)，石墨掩片(3)或石墨垫片(4)放置在碲镉汞源(5)上方，衬底(6)放置在石墨掩片(3)或石墨垫片(4)上，石墨盖板(2)由螺丝固定在石墨舟的最顶部，对石墨底座(1)密封。