[实用新型]一种抛光垫自动清理装置

摘要

本实用新型公开了一种抛光垫自动清理装置，包括抛光机定盘，在抛光机定盘上固定有一抛光垫，抛光垫上方设有毛刷盘，毛刷盘中心设有真空孔；毛刷盘上方设有抛光头和贯穿抛光头的真空管道，真空管道的一端设有插头，通过插头与真空孔的配合将真空管道与毛刷盘可拆卸的固定在一起。其毛刷盘中心设有真空孔，不仅便于抛光头抓取毛刷盘，同时能够全面、无死角地清理抛光垫，大大降低抛光过程中抛光垫对晶片的伤害程度。进行清理动作时，毛刷盘的旋转方向与抛光机定盘同向或者反向相对运动，可以更全面、彻底地清理抛光垫，大大降低对抛光垫和晶片的损伤程度。并且全程均采用全自动控制程序，自动清理，操作简单，降低工人工作强度。

主权项

一种抛光垫自动清理装置，其特征在于，包括抛光机定盘，在所述抛光机定盘上固定有一抛光垫，所述抛光垫上方设有一毛刷盘，所述毛刷盘中心设有一真空孔；所述毛刷盘上方设有一抛光头和一贯穿所述抛光头的真空管道，所述真空管道靠近所述抛光头方向的一端设有一插头，所述插头与所述真空孔的直径大小相匹配，通过所述插头与所述真空孔的配合将所述真空管道与所述毛刷盘可拆卸的固定在一起，所述真空管道远离所述抛光头方向的一端与一真空泵连接；其中所述毛刷盘还包括主盘面、盘底、刷毛，其中所述主盘面与所述盘底相对固定连接，所述刷毛固定设置于所述主盘面上，所述主盘面呈中空柱体结构，所述真空孔设置在所述盘底上。