[实用新型]一种硅片清洗废水回收再利用系统

摘要

本实用新型公开了一种硅片清洗废水回收再利用系统，包括回收装置、预清洗机、化胶槽、超声波水槽和过滤网，所述回收装置通过管道分别与预清洗机、化胶槽、超声波水槽和过滤网连接；所述回收装置包括用于向储水罐抽送硅片清洗后废水的抽水泵、储水罐和分配水泵，所述抽水泵、储水罐和分配水泵通过管道依次连接。本实用新型将清洗硅片后的废水重新收集后用于其他清洗环节，节约了用水的同时，也减少了其他清洗环节前水加温的成本，不仅提高了设备工作效率，也降低了电能的消耗，为车间降低了生产成本。

主权项

一种硅片清洗废水回收再利用系统，其特征在于，包括回收装置(1)、预清洗机(2)、化胶槽(3)、超声波水槽(4)和过滤网(5)，所述回收装置(1)通过管道分别与预清洗机(2)、化胶槽(3)、超声波水槽(4)和过滤网连接(5)；所述回收装置(1)包括用于向储水罐(102)抽送硅片清洗后废水的抽水泵(101)、储水罐(102)和分配水泵(103)，所述抽水泵(101)、储水罐(102)和分配水泵(103)通过管道依次连接。