[实用新型]一种具有喷淋功能的机械臂

摘要

本实用新型涉及机械臂领域，公开了一种具有喷淋功能的机械臂，包括机械臂本体和设于机械臂本体上的喷淋头，喷淋头与水管相连接，喷淋头与气动装置相连接，气动装置与气动阀门相连接，气动阀门用于控制气动装置工作进而控制喷淋头的开闭；气动阀门通过电磁阀与PLC相连接。本实用新型中设置有PLC，PLC控制喷淋头每隔12秒进行一次喷水，能够有效控制晶体硅片在移动过程中不被氧化。使用本实用新型中的具有喷淋功能的机械臂对晶体硅片进行移动的过程中，能够省略现有技术中使用的中转槽，无需再将晶体硅片浸润到中转槽中就能够保证晶体硅片在制绒后的转移过程中不被氧化，使得整个生产流水线上的工序大大缩短，所需的设备更少。

主权项

一种具有喷淋功能的机械臂，包括机械臂本体和设于机械臂本体上的喷淋头，所述喷淋头与水管相连接，其特征在于：所述喷淋头与气动装置相连接，所述气动装置与气动阀门相连接，所述气动阀门用于控制气动装置工作进而控制所述喷淋头的开闭；所述气动阀门通过电磁阀与PLC相连接。