[实用新型]一种多组合式样品靶架有效
| 申请号： | 201420328259.4 | 申请日： | 2014-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN203967026U | 公开（公告）日： | 2014-11-26 |
| 发明（设计）人： | 袁洪林 | 申请（专利权）人： | 袁洪林 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20 |
| 代理公司： | 西安吉盛专利代理有限责任公司 61108 | 代理人： | 张培勋 |
| 地址： | 710069 陕西省西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本实用新型可以应用于现有主流激光剥蚀技术中，具体涉及一种多组合式样品靶架，一种多组合式样品靶架，包括基板和设置在基板上的靶座，所述靶座由多个薄片样品靶座和不同孔径的孔形靶座排列在基板组成，克服现有的样品靶架装载量少，而且靶座结构单一的问题，利用将多种靶座同时组合排列在基板上，形成组合式样品靶架，能同时对多种样品进行实验，避免了多次更换试验样品，一定程度上确保样品室的密封性，有利于实验分析结果的准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 组合式 样品 | ||
【主权项】：
一种多组合式样品靶架，包括基板（1）和设置在基板（1）上的靶座，其特征在于：所述靶座由多个薄片样品靶座（2）和不同孔径的孔形靶座（3）排列在基板（1）组成。
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