[实用新型]单晶炉导流筒有效
| 申请号： | 201420255234.6 | 申请日： | 2014-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN203923457U | 公开（公告）日： | 2014-11-05 |
| 发明（设计）人： | 刘彬国;何京辉;曹祥瑞 | 申请（专利权）人： | 邢台晶龙电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C30B15/00 |
| 代理公司： | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人： | 米文智 |
| 地址： | 054001 河北省*** | 国省代码： | 河北;13 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种单晶炉导流筒，它涉及半导体材料生产设备技术领域。它包括外层导流筒和内层导流筒，所述内层导流筒的底部设有至少三个凸缘，所述外层导流筒的底部设有与所述凸缘相应的凹槽，所述内层导流筒和所述外层导流筒通过所述凸缘和凹槽的嵌合而连接。该导流筒可以有效避免因外层导流筒坠埚而引起的原液污染和生长中断，保证直拉单晶硅的正常生产，非常具有实用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 单晶炉 导流 | ||
【主权项】：
一种单晶炉导流筒，其包括外层导流筒（1）和内层导流筒（2），其特征在于：所述内层导流筒（2）的底部设有至少三个凸缘（4），所述外层导流筒（1）的底部设有与所述凸缘（4）相应的凹槽（3），所述内层导流筒（2）和所述外层导流筒（1）通过所述凸缘（4）和凹槽（3）的嵌合而连接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于邢台晶龙电子材料有限公司，未经邢台晶龙电子材料有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201420255234.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种滨海盐碱地树木栽植结构
- 下一篇：一种多晶硅铸锭炉的锥形导流筒结构
