[实用新型]一种平面电动机驱动的粗微动一体掩模台有效
| 申请号： | 201420219639.4 | 申请日： | 2014-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN203838476U | 公开（公告）日： | 2014-09-17 |
| 发明（设计）人： | 朱煜;张鸣;支凡;刘召;成荣;杨开明;张利;秦慧超;赵彦坡;田丽;叶伟楠;张金;尹文生;穆海华;胡金春 | 申请（专利权）人： | 清华大学;北京华卓精科科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 邸更岩 |
| 地址： | 100084 北京市海淀区1*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种平面电动机驱动的粗微动一体掩模台，该粗微动一体掩模台包括粗微动一体掩模台动台、平衡质量、驱动电动机、掩模板、基座、隔振系统及测量系统；隔振系统位于平衡质量与基座之间，掩模板安装在粗微动一体掩模台动台上；掩模台动台的驱动电动机为动铁式平面电动机，该平面电动机动子为安装在粗微动一体掩模台动台顶面的永磁体阵列，平面电动机定子为安装在平衡质量上的线圈阵列。本实用新型可降低掩模台动台驱动电动机的设计复杂性；与直线电动机相比，平面电动机能够提供更多方向的推力，减少电动机的数量，使粗微动一体掩模台动台结构更加紧凑，提高粗微动一体掩模台动台的固有频率及控制带宽，进而提高控制精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 平面 电动机 驱动 微动 一体 掩模台 | ||
【主权项】：
一种平面电动机驱动的粗微动一体掩模台，包括粗微动一体掩模台动台(100)、平衡质量(200)、粗微动一体掩模台动台的驱动电动机、掩模板、基座(001)、隔振系统(500)及测量系统；隔振系统位于平衡质量与基座之间，掩模板安装在粗微动一体掩模台动台上，其特征在于：该粗微动一体掩模台动台的驱动电动机为动铁式平面电动机(300)；动铁式平面电动机动子(301)为安装在粗微动一体掩模台动台两侧的永磁体阵列，动铁式平面电动机定子(302)为安装在平衡质量上的线圈阵列。
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