[实用新型]液位测量装置及湿法刻蚀装置有效
| 申请号： | 201420134051.9 | 申请日： | 2014-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN203732136U | 公开（公告）日： | 2014-07-23 |
| 发明（设计）人： | 孙文昌 | 申请（专利权）人： | 北京京东方光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | G01F23/64 | 分类号： | G01F23/64;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 李迪 |
| 地址： | 100176 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供了一种液位测量装置和湿法刻蚀装置。液位测量装置包括：浮子、磁感应线圈、马达、伸缩遮挡板、感光板以及多个激光传感器，其中：所述浮子具有磁性，可浮于液面；所述磁感应线圈连接到所述马达和所述伸缩遮挡板；所述马达用于带动所述磁感应线圈在一定高度范围内移动，当所述磁感应线圈中的感应电流达到设定阈值时停止运动；所述多个激光传感器位于不同的高度，且激光均水平出射，在无遮挡时能够到达所述感光板；所述伸缩遮挡板位于所述激光传感器与所述感光板之间，所述磁感应线圈移动时带动所述伸缩遮挡板上下移动。本实用新型能够克服现有液位测量的缺陷，并使得液位高度的测量更为直观和高效。 | ||
| 搜索关键词： | 测量 装置 湿法 刻蚀 | ||
【主权项】：
一种液位测量装置，其特征在于，该装置包括：浮子、磁感应线圈、马达、伸缩遮挡板、感光板以及多个激光传感器，其中：所述浮子具有磁性，可浮于液面；所述磁感应线圈连接到所述马达和所述伸缩遮挡板；所述马达用于带动所述磁感应线圈在一定高度范围内移动，当所述磁感应线圈中的感应电流达到设定阈值时停止运动；所述多个激光传感器位于不同的高度，且均水平出射激光，激光在无遮挡时能够到达所述感光板；所述伸缩遮挡板位于所述激光传感器与所述感光板之间，所述磁感应线圈移动时带动所述伸缩遮挡板上下移动。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京京东方光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司，未经北京京东方光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201420134051.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种能收纳打孔头的打孔钳
- 下一篇：安全切断型远控智能燃气表
