[发明专利]数字图案发生器（DPG）中的反射镜阵列在审
| 申请号： | 201410756656.6 | 申请日： | 2014-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN104698771A | 公开（公告）日： | 2015-06-10 |
| 发明（设计）人： | 余宗欣 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 | 代理人： | 章社杲;李伟 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 讨论了在电子束光刻系统中具有反射镜阵列的数字图案发生器(DPG)的系统和方法。反射镜阵列包括第一反射镜库和第二反射镜库，其中组合逻辑结构插入到第一反射镜库和第二反射镜库之间。输出数据线从第一反射库镜延伸到组合逻辑结构。承载与第二反射镜库相关联的数据的输入数据线也被提供给组合逻辑结构。输出数据线从组合逻辑结构延伸到第二数据库。 | ||
| 搜索关键词： | 数字 图案 发生器 dpg 中的 反射 阵列 | ||
【主权项】：
一种电子束光刻系统，包括：数字图案发生器(DPG)，具有反射镜阵列，所述反射镜阵列包括：第一反射镜库和第二反射镜库；组合逻辑结构，插入到所述第一反射镜库和所述第二反射镜库之间；第一输出数据线，从所述第一反射镜库到所述组合逻辑结构；输入数据线，提供给所述组合逻辑结构，所述输入数据线承载与所述第二反射镜库相关联的数据；以及第二输出数据线，从所述组合逻辑结构到所述第二反射镜库。
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