[发明专利]用于刻蚀设备的压力保护系统和压力保护方法

摘要

本发明公开了一种用于刻蚀设备的压力保护系统和压力保护方法，所述刻蚀设备包括反应腔、气柜，压力保护系统包括压力传感器、设备主机、压力控制器。压力控制器与压力传感器、设备主机、气柜均相连，压力控制器能够接收压力传感器测得的气压数据并传送给设备主机，设备主机用于判断气压数据是否在预定范围内，并根据判断结果控制气柜是否继续向反应腔内供气。压力控制器能够判断设备主机是否死机，当压力控制器判定设备主机死机时，压力控制器能够判断气压数据是否在预定范围内，并根据判断结果控制气柜是否继续向反应腔内供气。本发明能够避免设备主机死机后反应腔内气压持续增大而导致的特气泄漏，从而避免了由此造成的安全事故。

主权项

一种用于刻蚀设备的压力保护系统，所述刻蚀设备包括反应腔和用于向所述反应腔提供特气的气柜，所述压力保护系统包括用于测量所述反应腔内气压的压力传感器和设备主机，其特征在于，所述压力保护系统还包括压力控制器，所述压力控制器分别与所述压力传感器、所述设备主机、以及所述气柜相连，所述压力控制器能够接收所述压力传感器测量得到的气压数据并传送给所述设备主机，所述设备主机用于判断所述气压数据是否在预定范围内，并根据判断结果控制所述气柜是否继续向所述反应腔内供气，并且，所述压力控制器采用双通道通信模式，能够判断所述设备主机是否死机，当所述压力控制器判定所述设备主机死机时，所述压力控制器能够判断所述气压数据是否在预定范围内，并根据判断结果控制所述气柜是否继续向所述反应腔内供气。