[发明专利]一种前置于真空获得设备的气体过滤装置有效
| 申请号： | 201410632136.4 | 申请日： | 2014-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN105649959B | 公开（公告）日： | 2017-12-15 |
| 发明（设计）人： | 王光玉;汤剑;李昌龙 | 申请（专利权）人： | 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司 |
| 主分类号： | F04B39/16 | 分类号： | F04B39/16 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司21002 | 代理人： | 何丽英 |
| 地址： | 110168 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及真空技术领域，具体地说是一种前置于真空获得设备的气体过滤装置。包括上级过滤器、中间连接盘及下级过滤器，其中下级过滤器的下端设有下级进气口，上端与上级过滤器的底部连接，所述上级过滤器的顶部设有上级排气口，所述中间连接盘设置于上级过滤器的底部，所述中间连接盘上沿周向设有多个将上级过滤器和下级过滤器连通的通孔。所述下级过滤器的底部设有脚轮。所述下级进气口与被抽气体源连接，所述上级排气口与真空泵连接。本发明工作效率高，维护间隔长，过滤器内部清洁容易。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 置于 真空 获得 设备 气体 过滤 装置 | ||
【主权项】：
一种前置于真空获得设备的气体过滤装置，其特征在于：包括上级过滤器(A)、中间连接盘(5)及下级过滤器(B)，其中下级过滤器(B)的下端设有下级进气口(2)，上端与上级过滤器(A)的底部连接，所述上级过滤器(A)的顶部设有上级排气口(10)，所述中间连接盘(5)设置于上级过滤器(A)的底部，所述中间连接盘(5)上沿周向设有多个将上级过滤器(A)和下级过滤器(B)连通的通孔；所述下级过滤器(B)包括下级过滤器腔体(1)和设置于下级过滤器腔体(1)内的下级滤芯(3)，所述下级进气口(2)设置于下级过滤器腔体(1)的下端侧壁上，所述下级滤芯(3)的侧壁上背对下级进气口(2)的位置设有下级滤芯进气口，所述下级滤芯(3)的顶部设有与中间连接盘(5)上的通孔连通的下级滤芯出气口。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司，未经中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201410632136.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
