[发明专利]蒸镀屏蔽有效
| 申请号： | 201410598749.0 | 申请日： | 2014-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN104278233A | 公开（公告）日： | 2015-01-14 |
| 发明（设计）人： | 陈冠吉;林子傑;郭雅佩;陈之磊 | 申请（专利权）人： | 友达光电股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 梁挥;李岩 |
| 地址： | 中国台湾新竹科*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种蒸镀屏蔽，供使用于具有蒸镀源的蒸镀制程中，包含第一本体及第二本体。第一本体具有第一叠合区，第一叠合区上形成有多个第一穿孔。第二本体与第一本体不同方向延伸，并具有第二叠合区。第二叠合区上形成有多个第二穿孔。第一叠合区与第二叠合区叠合，且第一穿孔在第二叠合区上的投影范围均在第二穿孔的范围外。 | ||
| 搜索关键词： | 屏蔽 | ||
【主权项】：
一种蒸镀屏蔽，供使用于具有一蒸镀源的蒸镀制程中，其特征在于，包含：一第一本体，具有一第一叠合区；其中，该第一叠合区上形成有多个第一穿孔；以及一第二本体，与该第一本体不同方向延伸，并具有一第二叠合区；其中，该第二叠合区上形成有多个第二穿孔；其中，该第一叠合区与该第二叠合区叠合，且该第一穿孔在该第二叠合区上的投影范围均在该第二穿孔的范围外。
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